第130章 ‘点光’测试
带着感光芯片回到平江后，康驰又重新投入到了繁忙的工作中，同时出于优先级考虑，相机的事情也只能往后排。
时间一天天过去，距离何永说的一个月改良期限也越来越近了。
终于，在11月13号的这天，何永的电话打过来了。
“设备已经改造完毕，正在做实验前的最后检查工作，预计15号就可以开始进行测试了。”
“嗯，我明天过来，这段时间辛苦你们了。”
两人随后简单地聊了几句便结束了通话。
随后康驰重新梳理了大唐重工的研发工作，确定在没有他的情况下，项目也能正常推进，然后便开始动身前往常春。
两天后，常春光所的洁净实验室内，DPP-EUV光源项目组的研究人员，都已经全副武装地坚守在各自的岗位上，进行着测试前最后的一遍检查工作。
康驰此时也站在控制室，隔着玻璃看着里面那台体积和普通卧室差不多大的光源设备，内心同样充满期待。
只要把光源搞定了，那他光刻机的研制进度，最少能暴涨三分之一。
加上平江已经组装完毕的镜片制造设备，以及正在攻关的工件台。
EUV光刻机三大件合体调试时间，已经是指日可待了。
何永对设备的主要参数，以及实验条件进行最终核对后，走到了康驰的身边，尽量压沉音量道：“各项参数都已经核查无误，可以开始了。”
“那就开始吧。”
“嗯！”
这次的实验主要分两个阶段进行，
第一阶段只对设备进行通电，然后喷锡气，测试磁场是否能够和预想中的那样，把锡气给一丝不落地吸到废料收集器中。
随着何永开始实验命令下发后，实验室内外的工作人员立即开始行动了起来。
设备通电，磁场加压……
随着屏幕上的数据疯狂跳跃，数字最后定格在了三千高斯。
这个磁场强度，和可控核聚变几十万高斯的磁场强度显然没得比，但两者的体积和目的不同，其实没啥可比性，
对于EUV光源来说，只能要约束住等离子体和锡液碎屑就行了，再高的强度也只是浪费电而已。
“第一次喷射准备，喷射！”
随着工作人员按下按钮……似乎啥也没发生。
嗯，这不是火箭发射，人根本就不可能通过肉眼，看到锡气的喷射……
在用激光击打锡液的LPP方案中，为了产生稳定而高功率的光源，需要每秒发射5万次的激光，并且次次命中锡液。
而在DPP方案中，则是通过正负极的通电‘点火’频率来实现，技术难度简单很多，同时因为光电开关的频率提升难度小，功率的提升空间就非常大了。
真正的限制，是锡气的喷射频率。
受限于物理结构，目前能做到喷射频率只有每秒2万次。
既然不能提高喷射频率，康驰就直接大力出奇迹，提高每次的喷射量，每喷一次就电它个五次甚至十次，最大程度地把锡转换成等离子体。
反正有磁场约束，不怕气体、碎屑和等离子体在电击中乱飞。
即便如此，每秒2万次的频率也很夸张了。
只能通过高速摄像机和各种分析仪器，回放实验数据，才可能观测到实验的结果。
过了十分钟，测试的分析结果就出来了。
“未发现锡元素外泄，全部锡气在0.8秒后冷凝成液态，顺利进入废料收集器！”
听到分析员语气激动地念出结果，所有人的脸上都露出了喜悦的神色。
这说明支撑这套设计方案中，最重要的磁场设计是可行的！
所有人都已经能感受到，那胜利曙光照射在脸上的那丝暖意了！
何永深吸了口气，压抑住内心的激动，沉声道：“继续下一个环节，10秒连续喷射。”
然后，
10秒，30秒，1分钟，10分钟，30分钟！
测试的强度的不断提升，但都无一例外，全部顺利完成！
何永终于抑制不住脸上的喜悦，神色激动地对康驰汇报道：“康博士……第一阶段实验全部顺利通过！”
康驰点了点头：“那就直接开始第二阶段吧。”
“好的！”
虽然经过了一上午的实验，大家都有点饥肠辘辘了，但在这个节骨点，却没有任何人会有吃个饭再回来继续测试的想法。
所有人都憋着气，期待着这台凝聚了他们无数日夜的心血，在另一条更具潜力的技术路线上‘点光’成功！
“第一次电离准备，开始！”
话音刚落，从光线收集器传来的数据，就传输到了大屏幕上。
极紫外光参数从0W，直接跳到了500W！
虽然这道500W的极紫外光，持续的时间仅仅只有0.00002秒，但所有人都知道，他们的一只手已经摸到了成功的大门了！
“500W，我们成功了！”
所有人都再也抑制不住内心的激动，站起来对着康驰鼓掌庆祝了。
康驰的脸上，也不禁浮现出了一丝笑容：“是的，我们成功了。”
不过，这是阶段性的验证，只能代表这条技术线路是真实可行的。
接下来，他们还要像第一阶段的实验一样，不断提高实验强度，确定它是否已经可以稳定运行，直接进入商用阶段。
十分钟后，具体的分析数据也出来了，在刚刚电离锡金属的时候，磁场依然完成了它的使命。
它像一个无形的牢笼，牢牢地约束住了整个发光区域，没有让任何物质触碰到不该触碰的设备。
接着康驰直接让何永上强度，从10秒到1分钟，第三轮直接就是30分钟！
连续半个小时的稳定光源！
到了这一步，基本已经可以证明，这台DPP-EUV光源，已经具备商用价值了！
当今天最后一项测试结束后，整个实验室顿时就沸腾了。
“成功了，真的成功了！”
“我们有500W的EUV光源了！”
“我的天，康博士的一次改良，竟然直接从80W干到了500W！”
掌声和欢呼声在控制室内反复回荡，
大家隔着厚厚的防护服互相拥抱，激动的泪水洒在了透明的防护面具上，更加增添了实验室的欢乐氛围。
看到眼前的这一幕，何永的身体也不禁有些颤抖。
这样的场景，他做梦都不知道做了多少次。
直到今天，终于梦想成真了。
只可惜，这成功并不是他给大家带来的……
何永表情有些复杂地，转头看向身边这个年轻人。
这年龄的人，在他们研究所，估计只有在助手中才能找到吧？
“恭喜你，你赢了。”
“谢谢。”
康驰当然也能感受到，何永在激动之余的那抹失落，于是出言安慰道：“如果不是有伱们之前打下的坚实基础，并且能这么快完成设备改良，这一天肯定也不会这么快到来。”
“其实我也不想成为最后摘桃子的，那多惹人厌啊……只要你们能按照之前的约定，以成本价给我供货，然后分我30%技术专利的利润，其它的看着办就行了。”
何永摇了摇头：“你放心，我会如实填写实验报告，这么大的功劳就算扣在我头上，我也顶不起，能分点苦劳也够我入土前得意了。”
呃……
他这话虽然有点怪，但貌似也是这个理。
功率突然从80W突破到了500W，成果实在太大了，
哪怕何永只能分一点功劳，也比他之前几瓦、几十瓦地慢慢突破牛逼多了。
(本章完)
时间一天天过去，距离何永说的一个月改良期限也越来越近了。
终于，在11月13号的这天，何永的电话打过来了。
“设备已经改造完毕，正在做实验前的最后检查工作，预计15号就可以开始进行测试了。”
“嗯，我明天过来，这段时间辛苦你们了。”
两人随后简单地聊了几句便结束了通话。
随后康驰重新梳理了大唐重工的研发工作，确定在没有他的情况下，项目也能正常推进，然后便开始动身前往常春。
两天后，常春光所的洁净实验室内，DPP-EUV光源项目组的研究人员，都已经全副武装地坚守在各自的岗位上，进行着测试前最后的一遍检查工作。
康驰此时也站在控制室，隔着玻璃看着里面那台体积和普通卧室差不多大的光源设备，内心同样充满期待。
只要把光源搞定了，那他光刻机的研制进度，最少能暴涨三分之一。
加上平江已经组装完毕的镜片制造设备，以及正在攻关的工件台。
EUV光刻机三大件合体调试时间，已经是指日可待了。
何永对设备的主要参数，以及实验条件进行最终核对后，走到了康驰的身边，尽量压沉音量道：“各项参数都已经核查无误，可以开始了。”
“那就开始吧。”
“嗯！”
这次的实验主要分两个阶段进行，
第一阶段只对设备进行通电，然后喷锡气，测试磁场是否能够和预想中的那样，把锡气给一丝不落地吸到废料收集器中。
随着何永开始实验命令下发后，实验室内外的工作人员立即开始行动了起来。
设备通电，磁场加压……
随着屏幕上的数据疯狂跳跃，数字最后定格在了三千高斯。
这个磁场强度，和可控核聚变几十万高斯的磁场强度显然没得比，但两者的体积和目的不同，其实没啥可比性，
对于EUV光源来说，只能要约束住等离子体和锡液碎屑就行了，再高的强度也只是浪费电而已。
“第一次喷射准备，喷射！”
随着工作人员按下按钮……似乎啥也没发生。
嗯，这不是火箭发射，人根本就不可能通过肉眼，看到锡气的喷射……
在用激光击打锡液的LPP方案中，为了产生稳定而高功率的光源，需要每秒发射5万次的激光，并且次次命中锡液。
而在DPP方案中，则是通过正负极的通电‘点火’频率来实现，技术难度简单很多，同时因为光电开关的频率提升难度小，功率的提升空间就非常大了。
真正的限制，是锡气的喷射频率。
受限于物理结构，目前能做到喷射频率只有每秒2万次。
既然不能提高喷射频率，康驰就直接大力出奇迹，提高每次的喷射量，每喷一次就电它个五次甚至十次，最大程度地把锡转换成等离子体。
反正有磁场约束，不怕气体、碎屑和等离子体在电击中乱飞。
即便如此，每秒2万次的频率也很夸张了。
只能通过高速摄像机和各种分析仪器，回放实验数据，才可能观测到实验的结果。
过了十分钟，测试的分析结果就出来了。
“未发现锡元素外泄，全部锡气在0.8秒后冷凝成液态，顺利进入废料收集器！”
听到分析员语气激动地念出结果，所有人的脸上都露出了喜悦的神色。
这说明支撑这套设计方案中，最重要的磁场设计是可行的！
所有人都已经能感受到，那胜利曙光照射在脸上的那丝暖意了！
何永深吸了口气，压抑住内心的激动，沉声道：“继续下一个环节，10秒连续喷射。”
然后，
10秒，30秒，1分钟，10分钟，30分钟！
测试的强度的不断提升，但都无一例外，全部顺利完成！
何永终于抑制不住脸上的喜悦，神色激动地对康驰汇报道：“康博士……第一阶段实验全部顺利通过！”
康驰点了点头：“那就直接开始第二阶段吧。”
“好的！”
虽然经过了一上午的实验，大家都有点饥肠辘辘了，但在这个节骨点，却没有任何人会有吃个饭再回来继续测试的想法。
所有人都憋着气，期待着这台凝聚了他们无数日夜的心血，在另一条更具潜力的技术路线上‘点光’成功！
“第一次电离准备，开始！”
话音刚落，从光线收集器传来的数据，就传输到了大屏幕上。
极紫外光参数从0W，直接跳到了500W！
虽然这道500W的极紫外光，持续的时间仅仅只有0.00002秒，但所有人都知道，他们的一只手已经摸到了成功的大门了！
“500W，我们成功了！”
所有人都再也抑制不住内心的激动，站起来对着康驰鼓掌庆祝了。
康驰的脸上，也不禁浮现出了一丝笑容：“是的，我们成功了。”
不过，这是阶段性的验证，只能代表这条技术线路是真实可行的。
接下来，他们还要像第一阶段的实验一样，不断提高实验强度，确定它是否已经可以稳定运行，直接进入商用阶段。
十分钟后，具体的分析数据也出来了，在刚刚电离锡金属的时候，磁场依然完成了它的使命。
它像一个无形的牢笼，牢牢地约束住了整个发光区域，没有让任何物质触碰到不该触碰的设备。
接着康驰直接让何永上强度，从10秒到1分钟，第三轮直接就是30分钟！
连续半个小时的稳定光源！
到了这一步，基本已经可以证明，这台DPP-EUV光源，已经具备商用价值了！
当今天最后一项测试结束后，整个实验室顿时就沸腾了。
“成功了，真的成功了！”
“我们有500W的EUV光源了！”
“我的天，康博士的一次改良，竟然直接从80W干到了500W！”
掌声和欢呼声在控制室内反复回荡，
大家隔着厚厚的防护服互相拥抱，激动的泪水洒在了透明的防护面具上，更加增添了实验室的欢乐氛围。
看到眼前的这一幕，何永的身体也不禁有些颤抖。
这样的场景，他做梦都不知道做了多少次。
直到今天，终于梦想成真了。
只可惜，这成功并不是他给大家带来的……
何永表情有些复杂地，转头看向身边这个年轻人。
这年龄的人，在他们研究所，估计只有在助手中才能找到吧？
“恭喜你，你赢了。”
“谢谢。”
康驰当然也能感受到，何永在激动之余的那抹失落，于是出言安慰道：“如果不是有伱们之前打下的坚实基础，并且能这么快完成设备改良，这一天肯定也不会这么快到来。”
“其实我也不想成为最后摘桃子的，那多惹人厌啊……只要你们能按照之前的约定，以成本价给我供货，然后分我30%技术专利的利润，其它的看着办就行了。”
何永摇了摇头：“你放心，我会如实填写实验报告，这么大的功劳就算扣在我头上，我也顶不起，能分点苦劳也够我入土前得意了。”
呃……
他这话虽然有点怪，但貌似也是这个理。
功率突然从80W突破到了500W，成果实在太大了，
哪怕何永只能分一点功劳，也比他之前几瓦、几十瓦地慢慢突破牛逼多了。
(本章完)